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著者名LIAO, Meiyong, WU, Haihua, SANG, Liwen, TERAJI, Tokuyuki, IMURA, Masataka, KOIDE, Yasuo.
タイトルltra-high quality factor single crystal diamond MEMS resonators
会議名OIST Diamond Workshop 2017” (ODW2017).
発表年2017
言語English
外部での文献参照

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