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| 著者名 | LIAO, Meiyong, WU, Haihua, SANG, Liwen, TERAJI, Tokuyuki, IMURA, Masataka, KOIDE, Yasuo. |
|---|---|
| タイトル | ltra-high quality factor single crystal diamond MEMS resonators |
| 会議名 | OIST Diamond Workshop 2017” (ODW2017). |
| 発表年 | 2017 |
| 言語 | English |
| 著者名 | LIAO, Meiyong, WU, Haihua, SANG, Liwen, TERAJI, Tokuyuki, IMURA, Masataka, KOIDE, Yasuo. |
|---|---|
| タイトル | ltra-high quality factor single crystal diamond MEMS resonators |
| 会議名 | OIST Diamond Workshop 2017” (ODW2017). |
| 発表年 | 2017 |
| 言語 | English |