HOME > Presentation > Detailltra-high quality factor single crystal diamond MEMS resonators廖 梅勇, ウ ハイファ, サン リウエン, 寺地 徳之, 井村 将隆, 小出 康夫. OIST Diamond Workshop 2017” (ODW2017). . 2017.NIMS author(s)LIAO, MeiyongSANG, LiwenTERAJI, TokuyukiIMURA, MasatakaKOIDE, YasuoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at :2017-10-12 22:29:19 +0900 Updated at :2018-06-05 14:14:01 +0900