Siナノワイヤへイオン注入したBの電気的活性化
(Electrical activation of boron in Si nanowires implanted with boron ion)
春季第56回応用物理学会学術講演会. 2009.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:28:45 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:28:55 +0900