HOME > Presentation > DetailSiナノワイヤへイオン注入したBの電気的活性化(Electrical activation of boron in Si nanowires implanted with boron ion)齋藤直之, 瀬岡雅典, 石田慎哉, 横野茂輝, 深田 直樹, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一. 春季第56回応用物理学会学術講演会. 2009.NIMS author(s)FUKATA, NaokiCHEN, JunHISHITA, ShunichiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-02-14 11:28:45 +0900Updated at: 2017-07-10 20:28:55 +0900