(Observation of Leakage Sites in High-k Gate Stack by Using an Electron-Beam-Induced Current Technique )
IUMRS- ICEM2012. 2012年09月23日-2012年09月28日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:09:04 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:27:10 +0900