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著者名CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, FUKATA, Naoki, Motoyuki Sato, TAKASE, Masami, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe, Keisaku Yamada, CHIKYOW, Toyohiro.
タイトルObservation of Leakage Sites in High-k Gate Stack by Using an Electron-Beam-Induced Current Technique
会議名IUMRS- ICEM2012
発表年2012
言語English
外部での文献参照

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