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(Observation of Leakage Sites in High-k Gate Stack by Using an Electron-Beam-Induced Current Technique )

陳 君, 関口 隆史, 深田 直樹, 佐藤基之, 高瀬 雅美, 蓮沼隆, 山部紀久夫, 山田啓作, 知京 豊裕.
IUMRS- ICEM2012. 2012.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-01-08 04:09:04 +0900 更新時刻 :2017-07-10 21:27:10 +0900

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