HOME > 口頭発表 > 書誌詳細(Investigation of local leakage sites in high-k/metal gate stacks by an electron-beam-induced current technique)陳 君, 関口 隆史, 深田 直樹, 佐藤基之, 高瀬 雅美, 蓮沼隆, 山部紀久夫, 山田啓作, 知京 豊裕. The 8th International Nanotechnology Conference. 2012.NIMS著者陳 君深田 直樹知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 11:29:53 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:21:28 +0900