2元スパッタリング法で作製したInSiO系チャネル材料の電気特性
(Electrical characteristics of InSiO-based channel materials by co-sputtering method)
2015年 第62回応用物理学会春季学術講演会. 2015年03月11日-2015年03月14日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:18:12 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:04:29 +0900