Growth of Ga2O3 films on Si and GaN substrates by atomic layer deposition and post-deposition annealing
Visual-JW 2022 & DEJI2MA-2. 2022年10月25日-2022年10月26日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-12-03 05:58:10 +0900更新時刻: 2024-03-05 12:22:03 +0900