将来のTFTへおける炭素ドープしたIn-Si-Oチャネルのインパクト
(Impact of carbon-doped In-Si-O channel for future TFT)
227th ECS Meeting. 2015年05月24日-2015年05月28日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:27:21 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:02:45 +0900