超高品質因子を持つ単結晶ダイヤモンドMEMS振動子
(Single crystal diamond mechanical resonator with ultra-high quality factor)
第31回ダイヤモンドシンポジウム. 2017.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-10-12 22:29:19 +0900更新時刻: 2018-06-05 14:14:01 +0900