超高品質因子を持つ単結晶ダイヤモンドMEMS振動子
(Single crystal diamond mechanical resonator with ultra-high quality factor)
第31回ダイヤモンドシンポジウム. 2017年11月20日-2017年11月22日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-10-12 22:29:19 +0900更新時刻: 2018-06-05 14:14:01 +0900