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著者名廖 梅勇, ウ ハイファ, サン リウエン, 寺地 徳之, 井村 将隆, 小出 康夫.
タイトル超高品質因子を持つ単結晶ダイヤモンドMEMS振動子
(Single crystal diamond mechanical resonator with ultra-high quality factor)
会議名第31回ダイヤモンドシンポジウム
発表年2017
言語Japanese
外部での文献参照

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