イオン注入によるSiナノワイヤへのPドーピングと電気的活性化
(P doping and electrical activation in Si nanowires by ion-implantation)
春季第56回応用物理学会学術講演会. 2009.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:12:25 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:28:55 +0900