SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > Presentation > Detail

イオン注入によるSiナノワイヤへのPドーピングと電気的活性化
(P doping and electrical activation in Si nanowires by ion-implantation)

石田慎哉, 瀬岡雅典, 齋藤直之, 横野茂輝, 深田 直樹, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一.
春季第56回応用物理学会学術講演会. 2009.

NIMS author(s)


Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)


    Created at :2017-01-08 04:12:25 +0900 Updated at :2017-07-10 20:28:55 +0900

    ▲ Go to the top of this page