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著者名石田慎哉, 瀬岡雅典, 齋藤直之, 横野茂輝, 深田 直樹, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一.
タイトルイオン注入によるSiナノワイヤへのPドーピングと電気的活性化
(P doping and electrical activation in Si nanowires by ion-implantation)
会議名春季第56回応用物理学会学術講演会
発表年2009
言語Japanese
外部での文献参照

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