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Air Damping Effect on Quality-Factor in High-Order Resonance Modes of Single-Crystal Diamond Microcantilevers

陳 果, ZHANG, Zilong, 顧 克云, SANG, Liwen, KOIZUMI, Satoshi, KOIDE, Yasuo, Zhaohui Huang, LIAO, Meiyong.
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会. 2024年03月22日-2024年03月25日.

NIMS著者

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    作成時刻: 2024-03-28 09:53:40 +0900更新時刻: 2024-03-28 09:53:40 +0900

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