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著者名LIAO, Meiyong, SANG, Liwen, IMURA, Masataka, KOIZUMI, Satoshi, KOIDE, Yasuo.
タイトルOn-chip Single Crystal Diamond MEMS with Electrical Actuation and Sensing
(電気信号による駆動とセンシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMS)
会議名2019年 第80回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2019
言語English
外部での文献参照

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