On-chip Single Crystal Diamond MEMS with Electrical Actuation and Sensing
(電気信号による駆動とセンシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMS)
2019年 第80回応用物理学会秋季学術講演会. 2019年09月18日-2019年09月21日.
NIMS著者
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作成時刻: 2019-10-08 03:00:21 +0900更新時刻: 2019-10-08 03:00:21 +0900