HOME > Presentation > DetailOn-chip Single Crystal Diamond MEMS with Electrical Actuation and Sensing(電気信号による駆動とセンシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMS)LIAO, Meiyong, SANG, Liwen, IMURA, Masataka, KOIZUMI, Satoshi, KOIDE, Yasuo. 2019年 第80回応用物理学会秋季学術講演会. 2019.NIMS author(s)LIAO, MeiyongSANG, LiwenIMURA, MasatakaKOIZUMI, SatoshiKOIDE, YasuoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at :2019-10-08 03:00:21 +0900 Updated at :2019-10-08 03:00:21 +0900