Effect of Ultra-High Vacuum Annealing and Hydrogen Plasma Treatment on the Resonance Properties of Single-Crystal Diamond MEMS Cantilevers
2023年第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023年03月15日-2023年03月18日.
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作成時刻: 2024-02-20 03:11:06 +0900 更新時刻: 2024-02-20 03:11:06 +0900