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High-order resonance of single-crystal diamond MEMS with high-quality factor at high temperatures

陳 果, ZHANG, Zilong, 顧 克云, SANG, Liwen, KOIZUMI, Satoshi, 戸田雅也, KOIDE, Yasuo, Zhaohui Huang, LIAO, Meiyong.
19th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2024) . 2024年05月02日-2024年05月05日.

NIMS著者

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    作成時刻: 2024-05-09 03:12:30 +0900更新時刻: 2024-05-09 03:12:30 +0900

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