HOME > 口頭発表 > 詳細TiN下部電極の表面酸化による強誘電体TiN/HfxZr1−xO2/TiNキャパシタの分極疲労の抑制(Suppression of Fatigue Properties of Ferroelectric TiN/HfxZr1−xO2/TiN Capacitors by Surface Oxidation of TiN Bottom-Electrode)著者女屋 崇, 生田目 俊秀, 森田 行則, 太田 裕之, 右田 真司, 喜多 浩之, 長田 貴弘, 塚越 一仁, 松川 貴. 会議名第28回電子デバイス界面テクノロジー研究会発表年2023言語Japanese
