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TiN下部電極の表面酸化による強誘電体TiN/HfxZr1−xO2/TiNキャパシタの分極疲労の抑制
(Suppression of Fatigue Properties of Ferroelectric TiN/HfxZr1−xO2/TiN Capacitors by Surface Oxidation of TiN Bottom-Electrode)

著者女屋 崇, 生田目 俊秀, 森田 行則, 太田 裕之, 右田 真司, 喜多 浩之, 長田 貴弘, 塚越 一仁, 松川 貴.
会議名第28回電子デバイス界面テクノロジー研究会
発表年2023
言語Japanese

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