SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 書誌詳細

TiN下部電極の表面酸化による強誘電体TiN/HfxZr1−xO2/TiNキャパシタの分極疲労の抑制
(Suppression of Fatigue Properties of Ferroelectric TiN/HfxZr1−xO2/TiN Capacitors by Surface Oxidation of TiN Bottom-Electrode)

女屋 崇, 生田目 俊秀, 森田 行則, 太田 裕之, 右田 真司, 喜多 浩之, 長田 貴弘, 塚越 一仁, 松川 貴.
第28回電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2023年02月03日-2023年02月04日.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2023-02-24 17:19:41 +0900更新時刻: 2023-02-24 17:19:41 +0900

    ▲ページトップへ移動