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ON-CHIP DIAMOND MEMS RESONATORS MAGNETIC SENSING UP TO 500℃

ZHANG, Zilong, 陳 果, Guangchao Chen, KOIZUMI, Satoshi, KOIDE, Yasuo, LIAO, Meiyong.
The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023). 2023年06月25日-2023年06月29日.

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    作成時刻: 2023-07-19 10:52:07 +0900更新時刻: 2023-07-19 10:52:07 +0900

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