酸化物薄膜トランジスタへ向けたCドープしたIn-W-Oチャネル材料の特性
(Characteristics of Carbon-doped In-W-O channel material for oxide TFT)
第63回 応用物理学会春季学術講演会. 2016年03月19日-2016年03月22日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:19:35 +0900更新時刻: 2018-06-05 13:54:35 +0900