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著者名TAJIMA, Nobuo, YAMASAKI, Takahiro, KANEKO, Tomoaki, NARA, Jun, Tatsuo Schimizu, Koichi Kato, OHNO, Takahisa.
タイトル A theoretical study on the thermal oxidation of silicon carbide: Chemical species at the SiO2/SiC interface
(シリコンカーバイドの熱酸化に関する理論的研究:SiO2/SiC界面の化学種について)
会議名American Physical Society March Meeting
発表年2016
言語English
外部での文献参照

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