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シリコンカーバイドの熱酸化に関する理論的研究:SiO2/SiC界面の化学種について
( A theoretical study on the thermal oxidation of silicon carbide: Chemical species at the SiO2/SiC interface)

American Physical Society March Meeting. 2016.

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    作成時刻 :2017-01-08 03:23:16 +0900 更新時刻 :2017-07-10 22:18:48 +0900

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