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Pt/Al2O3/β-Ga2O3 MOSキャパシタの熱処理温度による電気特性の変化
(Change of the electrical properties as a function of annealing temperarure for )

Author(s)廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 池田 直樹, 大井 暁彦, 色川 芳宏, 岩井 秀夫, 安福 秀幸, 川田 哲, 高橋誠, 伊藤和博, 小出 康夫, 清野肇.
Event name第80回応用物理学会秋季学術講演
Year of publication2019
LanguageJapanese

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