HOME > 口頭発表 > 書誌詳細ZrO2/Al2O3/ZrO2多層を用いたDRAMキャパシタにおけるAl2O3層が電気特性に及ぼす効果(Effect of Al2O3 interlayer on electrical characteristic for DRAM capacitors with ZrO2/Al2O3/ZrO2 multilayer)女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 栗島 一徳, 澤本直美, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 小椋厚志. シリコン材料・デバイス研究会. 2016.NIMS著者生田目 俊秀大井 暁彦知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 11:09:39 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:23:48 +0900