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著者名ジャン ジロン, SANG, Liwen, ウ ハイファ, Jian Huang, Linjun Wang, KOIZUMI, Satoshi, KOIDE, Yasuo, LIAO, Meiyong.
タイトルGalfenol-Ti-Diamond Multilayer MEMS Resonator for Magnetic Sensor Working up to 500oC
会議名2019 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)
発表年2019
言語English
外部での文献参照

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