GaN系絶縁膜制御技術
(Control techniques of gate dielectrics for GaN-based semiconductors)
応用物理学会 特別シンポジウム：GaNのエピタキシャル成長とデバイス. 2018. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2018-07-01 16:43:10 +0900更新時刻: 2024-03-05 12:20:41 +0900