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三石 和貴
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305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1 [アクセス]
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研究内容

Keywords

電子顕微鏡技術、ナノ構造科学 応用物性・結晶工学 無機材料・物性

共焦点電子顕微鏡の結像特性の研究、電子線勇気蒸着によるナノ構造の作製と物性評価

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GaN試料からの収束電子線回折像とシミュレーション像。 シミュレーションとの比較により、GaN試料の極性や厚みを容易に決定することができる。

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

書籍
会議録
特許
  • 特許第5268043号 極微小ダイオード及びその製造方法 (2013)
  • 特許第4572366号 ガスデポジション法のための原料ガス供給方法及び供給装置 (2010)
  • 特許第4644853号 低エネルギーイオン照射による絶縁体からの軽元素特性X線発生方法 (2010)

所属学会

日本金属学会 日本電子顕微鏡学会 日本物理学会

受賞履歴

  • 日本顕微鏡学会「論文賞(顕微鏡基礎部門)(2010),日本顕微鏡学会 第7回奨励賞(2006),アメリカ材料学会秋季大会最優秀ポスター賞(1997)  ()
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第二期開発予定
第二期開発予定

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