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著者名廖 梅勇, ウ ハイファ, サン リウエン, 井村 将隆, 寺地 徳之, 小出 康夫.
タイトル超高品質因子を持つ単結晶ダイヤモンドMEMS共振子
(Ultrahigh quality factors single crystal diamond MEMS resonators)
会議名第79回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2018
言語Japanese
外部での文献参照

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