超高品質因子を持つ単結晶ダイヤモンドMEMS共振子
(Ultrahigh quality factors single crystal diamond MEMS resonators)
第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018年09月18日-2018年09月21日.
NIMS著者
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作成時刻: 2018-09-14 16:08:47 +0900更新時刻: 2018-09-14 16:08:47 +0900