HOME > Presentation > Detail超高品質因子を持つ単結晶ダイヤモンドMEMS共振子(Ultrahigh quality factors single crystal diamond MEMS resonators)廖 梅勇, ウ ハイファ, サン リウエン, 井村 将隆, 寺地 徳之, 小出 康夫. 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018.NIMS author(s)LIAO, MeiyongSANG, LiwenIMURA, MasatakaTERAJI, TokuyukiKOIDE, YasuoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2018-09-14 16:08:47 +0900Updated at: 2018-09-14 16:08:47 +0900