Effect of off-cut angle of hydrogen-terminated diamond(111) substrate on the quality of AlN towards high-density AlN/diamond(111)
The 11th Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2017). 2017年05月28日-2017年06月01日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-12-28 22:11:49 +0900更新時刻: 2018-06-05 14:07:52 +0900