ヘリウムイオン顕微鏡装置への電圧印加機構の導入と印加電圧値を変化させた積層型セラミックコンデンサの二次電子像観察
(Installation of in-situ Voltage-Application Mechanism to Helium Ion Microscope Chamber and Observation of Secondary Electron Ima)
2017年真空・表面科学合同講演会. 2017年08月17日-2017年08月19日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-04-29 22:11:37 +0900 更新時刻: 2018-06-05 14:08:22 +0900