分極疲労時の強誘電体HfxZr1−xO2/TiN界面反応に起因した酸素欠損生成の起源
(Origin of oxygen vacancy formation originating from ferroelectric HfxZr1−xO2/TiN interface reaction in fatigued state)
2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-04-10 17:34:46 +0900更新時刻: 2023-04-10 17:34:46 +0900