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分極疲労時の強誘電体HfxZr1−xO2/TiN界面反応に起因した酸素欠損生成の起源
(Origin of oxygen vacancy formation originating from ferroelectric HfxZr1−xO2/TiN interface reaction in fatigued state)

女屋 崇, 長田 貴弘, 生田目 俊秀, 山下 良之, 塚越 一仁, 森田 行則, 太田 裕之, 右田 真司, 喜多 浩之.
2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023年03月15日-2023年03月18日.

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    作成時刻: 2023-04-10 17:34:46 +0900更新時刻: 2023-04-10 17:34:46 +0900

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