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著者名Jaemyung Kim, Okkyun Seo, Satoshi Hiroi, Yoshihiro Irokawa, Toshihide Nabatame, Yasuo Koide, Osami Sakata.
タイトルSurface morphology smoothing of a 2 inch-diameter GaN homoepitaxial layer observed by X-ray diffraction topography
掲載誌名RSC Advances 10 [4] 1878-1882
ISSN: 20462069
ESIでのカテゴリ: CHEMISTRY
出版社Royal Society of Chemistry (RSC)
発表年2020
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1039/c9ra08882b
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