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著者名Meiyong Liao, Liwen Sang, Tokuyuki Teraji, Satoshi Koizumi, Yasuo Koide.
タイトルUltrahigh Performance On-Chip Single Crystal Diamond NEMS/MEMS with Electrically Tailored Self-Sensing Enhancing Actuation
掲載誌名Advanced Materials Technologies 4 2 1800325
発表年2019
言語English
DOI10.1002/admt.201800325
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