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著者名CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, FUKATA, Naoki, TAKASE, Masami, CHIKYOW, Toyohiro, Kikuo Yamabe, Ryu Hasunuma, Motoyuki Sato, Yasuo Nara, Keisaku Yamada.
タイトルCHARACTERIZATION OF LEAKAGE BEHAVIORS OF HIGH-K GATE STACKS BY ELECTRON-BEAM-INDUCED CURRENT
発表誌名IEEE IRPS 2008 Proceedings
発表年2008
言語English

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