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著者名CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, TAKASE, Masami, FUKATA, Naoki, CHIKYOW, Toyohiro, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe, Motoyuki Sato, Yasuo Nara, Keisaku Yamada.
タイトルElectron-beam-induced current characterization of high-k dielectrics
発表誌名Proc. of the 5th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
発表年2008
言語English

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