4H-SiC Surface Structures and Oxidation Mechanism Revealed by Using First-Principles and Classical Molecular Dynamics Simulations
(第一原理および古典的分子動力学法を用いた4H-SiC構造の酸化機構の解明)
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-27 02:53:54 +0900更新時刻: 2024-04-01 21:51:20 +0900