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Sb 添加Ge 縦型pn ダイオードの電気特性に及ぼす基板加熱堆積の効果
(Effect of Substrate Heating Deposition on Electrical Properties of Sb-doped Ge Vertical pn-Diode)

著者ラハマト ハディ サプトロ, 松村 亮, 深田 直樹.
発表誌名電子デバイス界面テクノロジー研究会 –材料・プロセス・デバイス特性の物理–プロシーディング集
発表年2021
言語Japanese

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