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Sb 添加Ge 縦型pn ダイオードの電気特性に及ぼす基板加熱堆積の効果
(Effect of Substrate Heating Deposition on Electrical Properties of Sb-doped Ge Vertical pn-Diode)

サプトロ ラハマト ハディ, 松村 亮, 深田 直樹.
電子デバイス界面テクノロジー研究会 –材料・プロセス・デバイス特性の物理–プロシーディング集 133-136. 2021.

NIMS著者

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

    作成時刻: 2021-02-11 03:00:16 +0900更新時刻: 2021-02-11 03:00:16 +0900

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