HOME > Proceedings > DetailSb 添加Ge 縦型pn ダイオードの電気特性に及ぼす基板加熱堆積の効果(Effect of Substrate Heating Deposition on Electrical Properties of Sb-doped Ge Vertical pn-Diode)サプトロ ラハマト ハディ, 松村 亮, 深田 直樹. 電子デバイス界面テクノロジー研究会 –材料・プロセス・デバイス特性の物理–プロシーディング集 133-136. 2021.NIMS author(s)SAPUTRO, Rahmat HadiMATSUMURA, RyoFUKATA, NaokiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2021-02-11 03:00:16 +0900Updated at: 2021-02-11 03:00:16 +0900