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FORMATION MECHANISM OF SIC IN C-SI SYSTEM BY ION IRRADIATION
(Si-C系でのイオン照射によるSiCの形成機構)

JAERI-Conf 2003-001 228-232. 2003.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2017-02-27 00:24:56 +0900 更新時刻 :2017-03-17 02:27:26 +0900

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