HOME > 口頭発表 > 書誌詳細ITO電極の酸素がHfO2 MOSキャパシタのフラットバンド電圧へ及ぼす影響(The effect of oxygen in ITO electrode on flat band voltage of HfO2 MOS capacitors)山田 博之, 生田目 俊秀, 木村 将之, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 大石知司. 日本金属学会2011年秋期(第149回)大会. 2011.NIMS著者生田目 俊秀大井 暁彦知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 11:00:48 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:07:44 +0900