High-k酸化膜の酸素拡散とフラットバンド電圧シフトの関係
(Correlationship between oxygen diffusion of High-k films and Vfb shift)
日本金属学会 2011年春期大会. 2011年03月25日-2011年03月27日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:20:39 +0900 更新時刻: 2018-06-05 12:51:35 +0900