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High-k酸化膜の酸素拡散とフラットバンド電圧シフトの関係
(Correlationship between oxygen diffusion of High-k films and Vfb shift)

生田目 俊秀, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 山田 博之, 木村 将之, 大石知司.
日本金属学会 2011年春期大会. 2011.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-02-14 11:20:39 +0900 更新時刻 :2018-06-05 12:51:35 +0900

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