HOME > 口頭発表 > 書誌詳細High-k酸化膜の酸素拡散とフラットバンド電圧シフトの関係(Correlationship between oxygen diffusion of High-k films and Vfb shift)生田目 俊秀, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 山田 博之, 木村 将之, 大石知司. 日本金属学会 2011年春期大会. 2011.NIMS著者生田目 俊秀大井 暁彦知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-02-14 11:20:39 +0900 更新時刻 :2018-06-05 12:51:35 +0900