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著者名生田目 俊秀, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 山田 博之, 木村 将之, 大石知司.
タイトルHigh-k酸化膜の酸素拡散とフラットバンド電圧シフトの関係
(Correlationship between oxygen diffusion of High-k films and Vfb shift)
会議名日本金属学会 2011年春期大会
発表年2011
言語Japanese
外部での文献参照

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