Sb添加Ge縦型pnダイオードの電気特性に及ぼす基板加熱堆積の効果
(Effect of Substrate Heating Deposition on Electrical Properties of Sb-doped Ge Vertical pn-Diode)
第26回電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―
http://www.edit-ws.jp/. 2021年01月22日-2021年01月23日.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-02-18 03:00:18 +0900 更新時刻: 2021-02-18 03:00:18 +0900