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Sb添加Ge縦型pnダイオードの電気特性に及ぼす基板加熱堆積の効果
(Effect of Substrate Heating Deposition on Electrical Properties of Sb-doped Ge Vertical pn-Diode)
第26回電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―
http://www.edit-ws.jp/. January 22, 2021-January 23, 2021.
NIMS author(s)
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Created at: 2021-02-18 03:00:18 +0900 Updated at: 2021-02-18 03:00:18 +0900