MOVPE法による(111)面ダイヤモンド基板上のAlNの高品質化
(High-crystalline quality AlN growth on diamond (111) substrates by MOVPE)
第61回応用物理学会春季学術講演会. 2014年03月17日-2014年03月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:15:53 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:50:34 +0900