SiナノワイヤへのO2+イオン注入効果
(Effect of O2+ ion implantation in Si nanowires)
2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会. 2010年09月14日-2010年09月17日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:36:11 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:53:23 +0900