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著者名横野茂輝, 石田慎哉, 滝口亮, 深田 直樹, 陳 君, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一.
タイトルSiナノワイヤへのO2+イオン注入効果
(Effect of O2+ ion implantation in Si nanowires)
会議名2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会
発表年2010
言語Japanese
外部での文献参照

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