準安定原子露光下の極薄レジストからのイオン放出
(Ion emission from ultrathin resists during exposure to metastable atom beams)
American Vauum Society(AVS) 49th International Symposium. 2002年11月04日-2002年11月08日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:49:28 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:30:37 +0900