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TMGa添加ポストアニール処理によるc面サファイア基板上AlNの結晶品質改善

2022年第69回応用物理学会春季学術講演会. 2022年03月22日-2022年03月26日.

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    作成時刻: 2022-04-12 03:25:26 +0900更新時刻: 2022-04-12 03:25:26 +0900

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