HOME > Presentation > DetailTMGa添加ポストアニール処理によるc面サファイア基板上AlNの結晶品質改善井村 将隆, 稲葉 英樹, 間野 高明, 石田 暢之, 上杉 文彦, 黒田 陽子, 中山 佳子, 竹口 雅樹, 小出 康夫. 2022年第69回応用物理学会春季学術講演会. 2022.NIMS author(s)IMURA, MasatakaMANO, TakaakiISHIDA, NobuyukiUESUGI, FumihikoNAKAYAMA, YoshikoTAKEGUCHI, MasakiKOIDE, YasuoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2022-04-12 03:25:26 +0900Updated at: 2022-04-12 03:25:26 +0900